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瑞士Eulitha紫外光刻机,新一代紫外光刻系统

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PhableR 100 光刻机提供了一种前所未有的功能，它是一套低成本的光学曝光系统，但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似，涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面，... ...

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